Tetrafluoruro di silicio

Il tetrafluoruro di silicio reagisce con:

  • fluoruro di sodio per dare l’esafluorosilicato di sodio

SiF4(g)  + 2 NaF → Na2SiF6(s)

SiF4(g) + 2 MgH2 → SiH4 + 2 MgF2

  • metano in presenza di ossigeno per dare biossido di silicio, biossido di carbonio e acido fluoridrico

SiF4(g) + CH4 + 2 O2 → SiO2 + CO2 + 4 HF

  • sodio per dare silicio e fluoruro di sodio

SiF4(g) + 4 Na → Si + 4 NaF

  • ione fluoruro per dare il complesso pentafluorosilicato

SiF4 + F → SiF5

Usi

Il tetrafluoruro di silicio viene utilizzato nei processi di impianto ionico e come precursore della silice fluorurata 

Miscele di tetrafluoruro di silicio, silano e idrogeno sono state recentemente utilizzate per depositare film sottili di silicio policristallino tramite deposizione chimica da vapore. Tali film sottili fluorurati mostrano fotoluminescenza visibile a temperatura ambiente.

Viene inoltre utilizzato quale gas dopante nei semiconduttori e come fonte di fluoro in processi che richiedono concentrazioni controllate di fluoro.

Condividi
Avatar

Author: Chimicamo

Share This Post On